العلامة التجارية: AMATالوصف: بطاقة لوحة أشباه الموصلاتالحالة: العلامة التجارية الجديدةالشهادة: رسالة ضمان تقرير اختبار COOالضمان: 1 سنةالمخزون كمي: 9مدة الدفع: T/T.ميناء الشحن: شنتشنكبطاقة لوحة أشباه الموصلات ، تضمن AMAT 0100-77040 دقة تحديد المواقع للرقائق أثناء النقل عالي السرعة وتضمن موثوقية ختم الفراغ من خلال ضبط ديناميكي لضغط الهواء المغلق واستجابة إشارة على مستوى ميلي ثانية.
تصنيع |
جداً |
رقم النموذج |
0100-77040 |
بلد المنشأ |
الولايات المتحدة الأمريكية |
رمز HS |
85389000 |
البعد |
12*12*2cm |
بُعد التعبئة |
14*14*4cm |
وزن |
0.5 كجم |
المعلمات الفنية
جهد المدخلات: 100-240V AC
واجهة الاتصال: Ethernet ، RS-485 (
نطاق درجة حرارة التشغيل: -10 ℃ إلى +60 ℃
مستوى الحماية: IP20
وقت الاستجابة: ≤5ms
ضغط هوائي متوافق: 0.5-1.0MPa
الحياة الميكانيكية: ≥1 مليون دورة
ميزات وظيفية
1. التحكم في محرك الأقراص الهوائي عالي الدقة
يستخدم AMAT 0100-77040 تقنية التغذية المرتدة حلقة مغلقة لضبط درجة الانفتاح والإغلاق وناتج الضغط من الصمامات الهوائية في الوقت الفعلي لضمان دقة مستوى الملليمتر لتصرفات المحركات مثل نقل الذراع الذراع وأختام الغرفة ، وتقليل خطر الضرر بالرقاقة.
2. تكامل الاتصالات الصناعية متعددة البروتوكول
0100-77040 يدعم بروتوكولات Ethernet و RS-485 و Devicenet لتحقيق إرساء سلس مع أنظمة التحكم الرئيسية في AMAT Centura و Endura وغيرها من المنصات. AMAT 0100-77040 يمكنه نقل بيانات حالة الجهاز بشكل متزامن إلى وحدة المراقبة المركزية لتحسين مستوى الأتمتة في الجهاز بأكمله.
3.
يمكن لدائرة التدريع الكهرومغناطيسي المدمج وتصميم الدائرة الزائدة عن الحاجة أن تقاوم تداخل التردد الراديوي بشكل فعال (RFI) وتقلبات إمداد الطاقة ؛ لديها وظيفة الكشف عن الأعطال في الوقت الحقيقي ، والتي يمكن أن تؤدي إلى إنذارات الصوت والضوء وتسجيل رموز الخطأ عندما لا تكون غير طبيعية ، تقصير دورة الصيانة.
4 النشر السريع المعياري
AMAT 0100-77040 تتبنى بنية تثبيت فتحة للبطاقات الموحدة ، متوافقة مع وحدة المعدات الهوائية الرئيسية مثل AMAT P5000 ومنصة زرع أيون Viista ، ويدعم استبدال SWAP الساخن ، ويقلل بشكل كبير من المعدات التي تقلص المعدات
سيناريوهات التطبيق
نظام نقل الويفر: قم برفع القابض الهوائي للذراع الآلي لتحقيق نقل رقاقة عالي السرعة بين غرفة الفراغ وقفل الحمل (مثل معدات PVD/CVD)
التحكم في ختم غرفة العملية: اضبط صمام البوابة (صمام الشق) للحفاظ على حالة عزل الفراغ في غرفة الحفر/الترسيب