العلامة التجارية: AMATالوصف: وحدة واجهة الغرفةالحالة: العلامة التجارية الجديدةالشهادة: رسالة ضمان تقرير اختبار COOالضمان: 1 سنةالمخزون كمي: 3مدة الدفع: T/T.ميناء الشحن: شنتشنAMAT 0100-35054 هي وحدة واجهة غرفة تراقب حالة تشغيل المعدات في الوقت الفعلي لضمان أن غرفة عملية البلازما تلقائيًا تؤدي إلى آلية التعشيق السلامة في ظل ظروف غير طبيعية.
| تصنيع |
جداً |
| رقم النموذج |
0100-35054 |
| بلد المنشأ |
الولايات المتحدة الأمريكية |
| رمز HS |
85389000 |
| البعد |
25*10*2cm |
| بُعد التعبئة |
27*12*4cm |
| وزن |
0.8 كجم |
المعلمات الفنية
نوع الواجهة: VME Bus متوافق ، يدعم نقل البيانات الموازي 16 بت.
جهد التشغيل: 24V DC ± 5 ٪ ، الحد الأقصى للحمل الحالي 2A.
درجة حرارة التشغيل: -10 درجة مئوية إلى 70 درجة مئوية.
مستوى الحماية: IP20.
وقت استجابة الإشارة: ≤5ms ، ضمان تشغيل سريع من التعشيق
ميزات وظيفية
1. حماية السلامة المخصصة:
يدمج AMAT 0100-35054 قنوات إدخال المستشعر المتعددة ، والتي يمكنها مراقبة ضغط الغرفة بشكل متزامن وتدفق الغاز ومعلمات درجة الحرارة. بمجرد اكتشاف القيمة الزائدة ، يتم قطع إمدادات الطاقة على الفور ويتم عزل مصدر الخطر لضمان سلامة المعدات والمشغلين
2. تحسين توافق النظام:
0100-35054 متوافق مع أنظمة التحكم في AMAT Endura و Centura وسلسلة أخرى من ترسب البخار المادي (PVD) ومعدات ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ، مما يدعم تكوين التوصيل والتشغيل دون الحاجة إلى برامج تشغيل إضافية
3. الاستقرار العالي ومضادات التداخل:
AMAT 0100-35054 تعتمد تصميم الدائرة الزائدة وطلاء التدريع الكهرومغناطيسي ، والذي يمكن أن يحافظ على إنذار خاطئ صفريًا من انتقال الإشارة في بيئة RF عالية الجهد (مثل حفر ICP) ، ومعدل الفشل أقل من 0.01 ٪.
4. وظائف القابلية للعيان والتشخيص:
يدعم مؤشر حالة LED على متن الطائرة قراءة رمز الصدع عن بُعد. يمكن لموظفي الصيانة تحديد موقع قطع المشكلات بسرعة من خلال برنامج AMAT المخصص (مثل Applied Producer®) لتقصير وقت التوقف
سيناريوهات التطبيق
عملية حفر البلازما:
في نسبة العرض إلى الارتفاع العالية للذاكرة NAND ثلاثية الأبعاد ، يتم إجراء مراقبة في الوقت الفعلي لضغط الغرفة لمنع تصريف القوس الناجم عن تراكم المنتجات الثانوية
ترسب الأفلام المعدنية:
بالنسبة لعمليات الترابط النحاسي (مثل Endura ALPS PVD) ، يتم اكتشاف تسرب الغاز أثناء الثرثرة لتجنب تلوث الأفلام
عملية تنظيف الغرفة:
خلال دورة صيانة معدات الأمراض القلبية الوعائية ، يتم تشغيل بدء التشغيل التلقائي وتوقف تنظيف البلازما NF₃ لضمان إزالة المخلفات بالكامل بالكامل
